Sun

模拟系列


真空规、传感器、真空计(显示和控制器),范围1400到1 x 10-4 mbar

模拟系列产品拥有稳定的测量值,高可靠性和坚固的金属外壳等优越特性

拥有4-20mA或0-10V输出的真空规可以在高低真空环境中工作自如。能够连接可编程控制器(PLC),或我们模拟系列产品中的一款多功能真空计。

搭配Thyracont VacuGhaph软件还可以通过不同的通讯界面对设置点进行编程,将流程可视化并可记录下来。


更多模拟系列产品的优点

  • 尺寸紧凑
  • 高精度 (芯片控制)
  • 线性的或对数的输出信号
  • 温度补偿






VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规

应用实例

晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。

挑战

当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的绝对压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。

解决方案

选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量绝对压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。

应用领域

  • 设备安装工程
  • 医疗技术
  • 真空泵运行控制
  • 包装机械
  • 工程机械
  • 化工工艺
  • 真空炉


VCC200 200到1 x 10-1 mbar 电容规

应用实例

在炼制高质量钢材的过程中,通常用真空氧脱碳精炼法来降低铸造物中的含碳量。熔化的钢水上的压力会降到100-150mbar,与此同时氧气会通过专用装置注入。这使得溶解碳转变为一氧化碳。而这些一氧化碳溢出到熔解池的真空环境中。其它熔解过程中的气体,如氢,被真空脱气排出。真空脱气时的压力通常为1mbar。

挑战

为达到最优脱气过程,铸造时需要精确地控制真空度。由于存在大量灰尘和有问题的物质,需要一个特别坚固耐用的真空规来降低维修护本。

解决方案

可以使用VCC200真空规。它能在200-0.1mbar范围内高精度地测量压力。这种电容氧化铝陶瓷感应器非常坚固耐用,而且不会受污染环境的影响。它的测量结果不受气体种类影响。所以生产过程中排放的气体不会影响其压力读数,从而保证了结果的准确性。

应用领域

  • 设备工程
  • 分析仪器
  • 化工工艺
  • 真空绝缘


VSP63 1000到1 x 10-4 mbar 皮拉尼

应用实例

热敏合剂是通过短通蒸馏系统慢慢分离的。在高真空环境下蒸馏可以在相对较低的温度中进行。

挑战

待蒸馏的合剂是在一个圆柱体锅炉中加热的。该锅炉有一个热充油套管并在真空中加热。在整个蒸馏过程中内部压力必须被严格控制在10-3 mbar,并且需要被记录下来以备质量管理所需。

解决方案

紧凑型真空计VD64P常用于压力管理。可以通过两个干触开关点,控制一个真空阀和一个通风阀。搭配使用外部的真空规VSP63即可靠而又经济地实现真空控制。整个过程可以通过USB接口进行精准归档和记录。

应用领域

  • 工业真空设备
  • 真空炉
  • 机械工程
  • 分析仪器
  • 包装机械


VSP841/842 1000…100到1 x 10-3 mbar 被动式皮拉尼

应用实例

液化气储罐的真空绝缘可以保护液化气免受环境温度的影响。真空密封外壳有效隔绝了储罐和外部环境之间的热传导。

挑战

为确保真空绝缘的正确工作以及能够及时发现气罐或外壳中的气体泄漏,需要定期检测绝缘层中的真空状态。真空绝缘的失败将引发升温升压的一系列风险。

解决方案

使用搭载可拆卸传感器VSP842的VD84真空计可以便捷而快速地检查液化气罐的真空绝缘状态。每个气罐装配一个独立的传感器固定在绝缘封装装置内。真空计定期与这些真空规连接,以便检测真空的状态。

应用领域

  • 服务与维护
  • 低真空泵的检测
  • 真空干燥
  • 真空离心机
  • 冷却冷冻技术


VSC43



VSC43 压阻真空规用于低真空的绝对压力测量,由于其耐用的陶瓷传感器,它对较脏环境和污染的介质不敏感

真空规
绝对压力1400 mbar 到 1 mbar

典型应用

  • 设备工程
  • 医疗科技
  • 包装机械
  • 设备安装工程
  • 化工工艺
  • 真空炉
  • 真空设备和真空泵的运行控制和归档
  • 真空干燥技术
  • 产品优点

    • 带FKM密封技术的抗化学腐蚀陶瓷传感器
    • 高可靠性和长期稳定性
    • 快速响应时间
    • 抗污染
    • 测量与气体类型无关
    • 自动温度补偿
    • 一键式数字化调零
    • 适用于Thyracont单通道或双通道真空计VD6/VD12
    • 标准输出信号4-20mA (双缆),或1-8V(四缆)
    • 便于和PLC及其它控制系统连接
    • 专为工业设计,特别紧凑
    • 带IP54防护等级的坚固金属外壳(VSC43MA4)
    • 真空连接: DN 16 ISO-KF法兰带G1/4内螺纹

    产品代码
  • VSC43MA4
    压阻真空规1400到1 mbar, DN16 ISO-KF法兰;G1/4 内螺纹;输出4-20 mA


  • VSC43MV
    压阻真空规1400到1 mbar, DN16 ISO-KF法兰;G1/4 内螺纹;输出1.0 到8.0 VDC


  • 配件

    • VD81SW1
      软管喷嘴黄铜,镀镍
    • XB0500004
      VSC43MA4的适配插头,5针,母头
    • XB0600002
      VSC43MV的适配插头,6针,母头
    • W0509002
      VSC43MA4的连接线,与VD6连接; 带屏蔽;2米
    • W0509006
      与W0509002相同,6米
    • W0606002
      VSC43MV的连接线,与VD12连接;带屏蔽;2米
    • W0606006
      与W0606002相同,6米

    技术参数

    测量原理压阻,与气体种类无关
    与真空接触材料不锈钢1.4305, Al2O3 陶瓷, FKM
    测量范围1400 到1 mbar (1050到1 Torr), 最大过压4 bar 绝对压力
    精度± 0.3 % 满刻度
    响应时间20 ms
    供电 9 - 30 VDC (VSC43MA4)
    15 - 30 VDC (VSC43MV)
    电气连接 M12 A, 5针, 公头,可锁 (VSC43MA4)
    赫斯曼, 6针, 公头, 可锁 (VSC43MV)
    工作温度+5到+60°C
    储藏温度-40到+70°C
    输出信号 VSC43MA4: 4-20 mA, 线性, 双缆,
    最大回路电阻 RL = (供电电压 - 9 V) / 20 mA
    VSC43MV: 1.0 到 8.0 VDC, 线性, (5 mV/mbar)
    真空连接DN 16 ISO-KF不锈钢法兰带G1/4内螺纹
    防护等级 IP54 (VSC43MA4)
    IP40 (VSC43MV)
    重量约125 克


    VCC200



    VCC200电容式真空规用于高精度测量绝对压力,即使压力低于20mbar也与所测气体类型无关。

    基于其持久耐用的陶瓷传感器,它对较脏环境及污染几乎不敏感。

    电容式真空规,绝对压力200到0.1mbar

    典型应用

  • 化工工艺
  • 真空绝缘
  • 抽真空和灌注
  • 分析仪器
  • 包装机械
  • 医学技术
  • 设备工程
  • 灯泡生产
  • 真空干燥
  • 产品优点

    • 卓越的精度
    • 高分辨率
    • 耐腐蚀的氧化铝陶瓷传感器
    • 测量值不受气体类型影响
    • 高可靠性
    • 快速反映时间
    • 自带温度补偿
    • 对污染不敏感
    • 适配于Thyracont真空计VD6
    • 标准输出信号:4-20mA(双缆)线性
    • 方便连接PLC和其它系统控制器
    • 为工业应用特别设计
    • 带IP54保护级的坚固金属外壳
    • 真空连接:DN 16 ISO-KF法兰带G1/4内螺纹

    产品代码
  • VCC200MA4
    电容真空规,200到0.1mbar, DN16 ISO-KF法兰;G1/4内螺纹;输出4-20mA(双缆)




  • 配件

    • VD81SW1
      6-8毫米软管喷嘴,黄铜,镀镍
    • XB0500004
      VCC200MA的适配插头,5针
    • W0509002
      连接线,与VD6连接; 带屏蔽;2米
    • W0509006
      与W0509002相同,6米

    技术参数

    测量原理电容式,绝压,与气体种类无关
    接触真空的材料不锈钢1.4305, Al2O3 FKM
    测量范围200到0.1 mbar (150 到 0.1 Torr), 最大过压6bar绝对压力
    精度± 0.25 % 满刻度,线性、迟滞、重复性
    温度系数±0.04% 满刻度/10K
    响应时间(10. . .90%)<120 ms
    供电9 - 30 VDC
    电气连接M12, 5针, 公头,可锁
    工作温度+5到+60°C,在25oC时相对湿度最大80%
    储藏温度-40到+70°C
    输出信号4-20 mA, 双缆,线性 最大回路阻抗 Rmax[Ω]=(供电电压 - 9 V) / 0.02)
    真空连接DN 16 ISO-KF不锈钢法兰带G1/4内螺纹
    防护等级IP54 (带适配反向插头)
    重量约170 克


    VSP63/VSP64



    这款已被市场所证明的Thyracont脉冲式皮拉尼传感器可以提供更大的测量范围和更高的分辨率。

    技术领先的VSP63拥有优化的温度补偿,准确性和稳定性都得到大幅的提升。

    模拟及对数输出信号

    真空规
    绝对压力1000到1 x 10-4 mbar

    典型应用

  • 分析仪器
  • 镀膜设备
  • 真空炉
  • 检漏
  • 冷冻干燥
  • 低真空泵及真空设备的运行控制
  • 需要既节省成本又不易安装的应用
  • 真空系统中的安全电路
  • 前级真空的监控
  • 工艺工程
  • 真空离心机
  • 产品优点

    • 高可靠性
    • 极其紧凑,专为工业应用设计
    • 测量范围广,分辨率高
    • 卓越的可重复性
    • 金属密封的不锈钢测量室,非常适合于超高真空应用
    • 耐用的皮拉尼螺旋灯丝
    • 高性价比
    • 受金属滤网保护的灯丝能很好地抵抗油和溶剂蒸汽
    • 优化的温度补偿,拥有更稳定的测量值
    • 适合于Thyracont单、双通道真空计VD6和VD12
    • 精准的一键式数字调零和大气压调整
    • 标准的对数输出 1.5-8.5V(VSP63MV,VSP64MV)或4-20mA(VSP63MA4)
    • 可方便的与各种PLC连接和集成,电源电压范围广
    • 坚固的防电磁干扰的金属外壳
    • 防护等级IP54(VSP63MA4)
    • DN16 ISO-KF不锈钢法兰 (VSP63MV,VSP63MA4)或DN16 CF法兰( VSP64MV)

    产品代码

  • VSP63MA4
    皮拉尼真空规 1000到1 x 10-4mbar, DN16 ISO-KF法兰;输出 4-20 mA, 对数


  • VSP63MV
    皮拉尼真空规 1000到1 x 10-4mbar, DN16 ISO-KF法兰;输出0-10V,对数


  • VSP64MV
    与上相同,DN16CF法兰




  • 配件

    • XB0500004
      VSP63MA4的适配插头,5针
    • XB0600002
      VSP63MV/VSP64MV的适配插头,6针
    • W0509002
      VSP63MA4的连接线,与VD6连接; 带屏蔽;2米
    • W0509006
      与W0509002相同,6米
    • W0606002
      VSP63MV/VSP64MV的连接线,与VD12连接;带屏蔽;2米
    • W0606006
      与W0606002相同,6米

    技术参数

    测量原理热传导( 脉冲式皮拉尼), 与气体种类相关
    真空接触材料不锈钢 1.4307, 镍,钨, 玻璃
    测量范围 1000 到 1 x 10-4mbar (750 到 1x 10-4 Torr), 最大过压4bar绝对压力
    精度 1000 到 20 mbar: <读数的30% 20 到2x 10-3mbar:<读数的10% < 2 x 10-3mbar: < 上述第二指标 
    重复性0.02
    响应时间最大200 ms
    供电电压15 - 30 VDC
    电气连接Electrical Connection M12 A 5针,公头,可锁(VSP63MA4)
    赫斯曼,6针,公头,可锁(VSP63MV/VSP64MV)
    功耗 24VDC供电电压下最大1W
    工作温度+5到+60°C
    储藏温度-40到+70 °C
    最大烘烤温度法兰处80°C
    输出信号 VSP63MA4:4-20 mA,对数,3缆
    最大回路电阻:RL=(供电电压-4V)/20mA
    VSP63MV/VSP64MV: 1.5-8.5VDC, 对数,1V/量级,负载阻抗>10k欧姆
    真空连接 DN 16 ISO-KF不锈钢法兰(VSP63MA4,VSP63MV)
    DN 16CF法兰(VSP64MV)
    防护等级IP54(VSP63MA4);IP40 (VSP63MV,VSP64MV)


    VSP841/VSP842



    VSP841和VSP842皮拉尼半桥测量中真空范围下的绝对压力.

    该款热传导传感器紧凑,坚固耐用,带预调整和温度补偿。非常适用于控制和被动式桥接电路。

    被动式真空传感器
    绝对压力 1000…100到1 x 10-3mbar

    典型应用

  • 带集成控制电路和诊断的设备
  • 设备工程
  • 分析仪器
  • 化工工程
  • 冷冻干燥
  • 真空绝缘监控
  • 浓缩设备
  • 产品优点

    • 经济型皮拉尼传感器
    • 出色的长期稳定性
    • 耐用的传感器,弹性螺旋灯丝
    • 受金属滤网保护的灯丝能很好地抵抗冷凝溶剂
    • 非常小的传感器体积
    • 集成温度感应
    • 紧凑的外型
    • 可旋紧的电路连接器
    • 可选配盖子以保护传感器免受灰尘和湿度的干扰
    • 预调节的传感器
    • DN16 ISO-KF不锈钢法兰(VSP841)或1/8NPT外螺纹(VSP842)
    • 按需要可以提供电路诊断的建议

    产品代码

  • VSP841
    皮拉尼半桥,1000…100到1 x 10-3mbar,DN16 ISO-KF法兰


  • VSP842
    皮拉尼半桥,1000…100到1 x 10-3mbar,1/8”-NPT螺纹




  • 配件

    • XB0400005
      VSP841/VSP842的适配插头
    • VSPKAPPE
      插头保护盖

    技术参数

    测量原理皮拉尼,与被测气体类型相关
    接触真空材质不锈钢,1.4305钨,镍,玻璃
    量程 1000…100 到1 x 10-3 mbar (750…75到1 x 10-3 Torr),
    最大过压4bar 绝对压力
    精度取决于诊断的电路,例如:10到1x 10-2mbar, 约为读数的15%
    反应时间约200ms
    电源根据电路方案,设置电桥电路供应
    电子连接四针圆形抽头,宾德713,可旋紧
    能耗约30mA
    操作温度+10到+40℃
    存储温度-20到+80℃
    最大烘烤温度法兰处80℃
    输出信号桥电压变化取决于真空状态
    真空连接 VSP841:DN 16 ISO-KF,不锈钢,Ni
    VSP842:1/8”NPT外螺纹,不锈钢,Ni
    防护等级IP65
    重量约60克


    VD6



    Thyracont VD6真空计,通用真空显示控制器,专为面板安装设计

    与Thyracont真空规VSC43MA4(1400到1mbar)或 VSC63MA4(1000到1x10-4mbar)成套使用.

    前面板上的继电器监控可以对两个开关点进行持续运行控制

    单通道真空计
    绝对压力 1400到1 x 10-4mbar

    典型应用

  • 工业真空设备
  • 真空炉
  • 机械工程
  • 分析仪器
  • 包装机械
  • 化工工程
  • 产品优点

    • 2点或3点控制
    • 2个独立的继电开关点(切换),在全范围内可调节
    • 直观的操作
    • 高对比度大型LED显示
    • Thyracont的4-20mA信号输出的真空规,允许长电缆连接运行
    • 防溅水前面板
    • 符合德国DIN标准96X48mm面板安装尺寸
    • 可调气体类型校正参数
    • 用于处理控制与归档的USB接口
    • VacuGragh™软件:用以对真空过程进行归档和评估,编程设置点和远程控制。

    产品代码

  • VD6S2115
    主电源 115VAC/3.5W, 面板安装96 x 48 mm,USB接口


  • VD6S2230
    如上,主电源 230VAC/3.5W




  • 成套仪器

    • VD62P230(1400到1mbar)
      套装230V,包含VD6S2330真空计、VSC43MA4真空规、及2米数据线
    • VD64P230 (1000到1x10-4mbar)
      套装230V,包含VD6S2330真空计、VSC63MA4真空规、及2米数据线


    配件

    • VGR
      VacuGraph™软件Windows版本
    • WUSB0002
      PC USB连接线,带屏蔽,2米

    技术参数

    适用的真空规VCC200MA4, VSC43MA4, VSP63MA4
    显示LED,13mm, 最多 4 1/2 数位
    压力单位mbar (按需可改为Torr)
    显示更新频率2Hz (0.5s)
    采样频率20Hz (50ms)
    电源VD6S2115: 115VAC, 50/60Hz
    VD6S2230: 230 VAC, 50/60Hz
    功耗最大3.5W
    保险丝VD6S2115: 200mA/T
    VD6S2230: 100mA/T
    操作温度+5到+50°C
    储藏温度-20到+60°C
    信号输入4-20mA, Sub D,9针,母头
    控制输出双继电器触点,无源转换开关,Pheonix带状终端,3针:
    2A/250VAC, 1A/30VDC (常闭)
    5A/250VAC, 5A/30VDC(常启)
    模拟输出0-1V 或0-10V
    信号接口迷你USB,B类,虚拟串行通讯接口协议
    保护级IP20
    重量约420克


    VD12



    VD12是被用于仪器和设备制造或特殊设备制造领域的智能控制器

    它提供2路继电开关,一个普通的或两个独立的设置点

    19吋盒式14HP x 3RU

    双通道真空真空计(显示控制器)
    绝对压力 1400到5 x 10-10mbar

    典型应用

  • 工业设备工程
  • 流程自动化
  • 设备工程,例如为质量控制而进行的流程控制和归档
  • 机械工程
  • 包装技术
  • 化工工程(真空搅拌机)
  • 产品优点

    • 双测量通道的同时控制
    • 能与所有Smartline系列以及0-10V模拟系列真空规结合使用
    • 压力显示单位可以是mbar,Torr,hPa
    • 通用的开关模式,电源95-265VAC
    • 2个无源继电器开关
    • 2步或3步控制
    • 坚固的19吋盒式,带金属箔保护的前面板
    • 抗电磁干扰
    • 可调节的气体类型校正参数
    • 带背景照明的大图形化LCD显示
    • 菜单化的操作指南使操作更舒适
    • 方便流程归档和设置点编程的USB接口
    • VacuGragh™软件:用以对真空过程,设置点编程和远程控制进行归档和评估。
    • 可按照客户的要求对控制点进行出厂配置。

    产品代码

  • VD12S2
    19吋盒子 14HPx3RU, USB, 95-265 VAC




  • 成套仪器

    • VD122P (1400到1mbar)
      VD12+VSC43MV+2米线缆
    • VD124P(1000到1x10-4mbar)
      VD12+VSC63MV+2米线缆


    配件

    • W0606002
      0-10V模拟系列真空规适配的数据线,带屏蔽,2米
    • W0606006
      如W0606002,6米
    • VGR
      VacuGraph™软件Windows版本
    • WUSB0002
      USB接口线,带屏蔽,2米

    技术参数

    适配的真空规 所有Smartline系列真空规
    VSC43MV, VSP63MV,VSP64MV
    显示LCD图形显示,背景照明,分辨率128x64
    显示更新频率2Hz (0.5s)
    采样频率 RS485:12.5Hz(80ms)/通道
    0-10V:50Hz(20ms)/通道
    电源95-265VAC, 50/60 Hz
    功耗最大25W,包含真空规
    保险丝0.8A/T
    操作温度+5到+50°C
    储藏温度-20到+60°C
    测量输入 1 xRS485,SubD 公头, 15针, 针对Smartline系列
    2 x Amphenol C91E, 6针,0-10V,母头, 针对模拟系列
    控制输出双继电器触点,无源转换开关,Pheonix带状终端6 针
    寿命>300,000次
    4A/250VAC, 2A/45VDC
    信号接口Mini USB,B类,5针,母头,虚拟串行通讯接口协议
    保护级IP20
    重量约750g


    VCP63



    VCP63拥有优化的温度补偿,从而实现高精度测量和出色的稳定性。

    模拟及对数输出信号

    真空规
    绝对压力1000到1 x 10-4 mbar

    典型应用

  • 分析仪器
  • 腐蚀性气体应用环境
  • 镀膜设备
  • 真空炉
  • 冷冻干燥
  • 化工工程
  • 真空系统安全回路和前级真空监控
  • 真空离心机
  • 产品优点

    • 适合腐蚀性媒介应用环境
    • 高可靠性
    • 极其紧凑,专为工业应用设计
    • 即使在低真空范围也有很高分辨率,
    • 卓越的可重复性
    • 铂铑灯丝,高抗腐蚀性
    • 耐用的弹性皮拉尼螺旋灯丝
    • 优化的温度补偿,拥有更稳定的测量值
    • 金属密封的不锈钢测量室,非常适合于超高真空应用
    • 受金属滤网保护的灯丝能很好地抵抗油和溶剂蒸汽
    • 适用于Thyracont双通道真空计VD12
    • 精准的一键式数字调零和大气压调整
    • 标准对数输出 2.2-8.5V
    • 可方便的与各种PLC连接和集成,电源电压范围广
    • 坚固的防电磁干扰的金属外壳
    • DN16 ISO-KF不锈钢法兰

    产品代码

  • VCP63MV
  • 皮拉尼真空规 1000到5 x 10-4mbar, DN16 ISO-KF法兰;输出 0-10 V 对数



    配件

    • XB0600002
      VCP63MV的适配插头,6针
    • W0606002
      VCP63MV与VD12的连接线;带屏蔽;2米
    • W0606006
      与W0606002相同,6米

    技术参数

    测量原理热传导( 脉冲式皮拉尼), 与气体种类相关
    真空接触材料不锈钢 1.4307, 镍, 玻璃.灯丝:铂铑
    测量范围 1000 到 5 x 10-4mbar (750 到 5x 10-4 Torr),
    最大过压4bar绝对压力
    精度 1000到10 mbar: <读数的±30%
    10到1x 10-2mbar:<读数的±10%
    < 1x 10-2mbar: < 上述第二指标
    重复性1x10-2: 读数的±5%
    响应时间最大200 ms
    供电电压15 - 30 VDC
    电气连接赫斯曼,6针,公头,可锁
    功耗24VDC供电电压下最大1.5W
    工作温度+5到+60°C
    储藏温度-40到.+70 °C
    最大烘烤温度法兰处80°C
    输出信号2.2-8.5 VDC, 对数,1V/量级,负载阻抗>10k欧姆
    真空连接DN 16 ISO-KF不锈钢法兰
    防护等级IP40
    重量约120 克