模拟系列真空规、传感器、真空计(显示和控制器),范围1400到1 x 10-4 mbar
模拟系列产品拥有稳定的测量值,高可靠性和坚固的金属外壳等优越特性
拥有4-20mA或0-10V输出的真空规可以在高低真空环境中工作自如。能够连接可编程控制器(PLC),或我们模拟系列产品中的一款多功能真空计。 搭配Thyracont VacuGhaph软件还可以通过不同的通讯界面对设置点进行编程,将流程可视化并可记录下来。 更多模拟系列产品的优点
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VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规 |
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应用实例晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的绝对压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。
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解决方案选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量绝对压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
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应用领域
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VCC200 200到1 x 10-1 mbar 电容规 |
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应用实例在炼制高质量钢材的过程中,通常用真空氧脱碳精炼法来降低铸造物中的含碳量。熔化的钢水上的压力会降到100-150mbar,与此同时氧气会通过专用装置注入。这使得溶解碳转变为一氧化碳。而这些一氧化碳溢出到熔解池的真空环境中。其它熔解过程中的气体,如氢,被真空脱气排出。真空脱气时的压力通常为1mbar。
挑战为达到最优脱气过程,铸造时需要精确地控制真空度。由于存在大量灰尘和有问题的物质,需要一个特别坚固耐用的真空规来降低维修护本。
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解决方案可以使用VCC200真空规。它能在200-0.1mbar范围内高精度地测量压力。这种电容氧化铝陶瓷感应器非常坚固耐用,而且不会受污染环境的影响。它的测量结果不受气体种类影响。所以生产过程中排放的气体不会影响其压力读数,从而保证了结果的准确性。
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应用领域
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VSP63 1000到1 x 10-4 mbar 皮拉尼 |
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应用实例热敏合剂是通过短通蒸馏系统慢慢分离的。在高真空环境下蒸馏可以在相对较低的温度中进行。
挑战待蒸馏的合剂是在一个圆柱体锅炉中加热的。该锅炉有一个热充油套管并在真空中加热。在整个蒸馏过程中内部压力必须被严格控制在10-3 mbar,并且需要被记录下来以备质量管理所需。
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解决方案紧凑型真空计VD64P常用于压力管理。可以通过两个干触开关点,控制一个真空阀和一个通风阀。搭配使用外部的真空规VSP63即可靠而又经济地实现真空控制。整个过程可以通过USB接口进行精准归档和记录。
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应用领域
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VSP841/842 1000…100到1 x 10-3 mbar 被动式皮拉尼 |
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应用实例液化气储罐的真空绝缘可以保护液化气免受环境温度的影响。真空密封外壳有效隔绝了储罐和外部环境之间的热传导。
挑战为确保真空绝缘的正确工作以及能够及时发现气罐或外壳中的气体泄漏,需要定期检测绝缘层中的真空状态。真空绝缘的失败将引发升温升压的一系列风险。
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解决方案使用搭载可拆卸传感器VSP842的VD84真空计可以便捷而快速地检查液化气罐的真空绝缘状态。每个气罐装配一个独立的传感器固定在绝缘封装装置内。真空计定期与这些真空规连接,以便检测真空的状态。
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应用领域
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VSC43VSC43 压阻真空规用于低真空的绝对压力测量,由于其耐用的陶瓷传感器,它对较脏环境和污染的介质不敏感 |
真空规
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典型应用 |
产品优点
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产品代码 |
技术参数
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VCC200VCC200电容式真空规用于高精度测量绝对压力,即使压力低于20mbar也与所测气体类型无关。 基于其持久耐用的陶瓷传感器,它对较脏环境及污染几乎不敏感。 |
电容式真空规,绝对压力200到0.1mbar |
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典型应用 |
产品优点
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产品代码 |
技术参数
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VSP63/VSP64这款已被市场所证明的Thyracont脉冲式皮拉尼传感器可以提供更大的测量范围和更高的分辨率。 技术领先的VSP63拥有优化的温度补偿,准确性和稳定性都得到大幅的提升。 模拟及对数输出信号 |
真空规
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典型应用 |
产品优点
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产品代码皮拉尼真空规 1000到1 x 10-4mbar, DN16 ISO-KF法兰;输出 4-20 mA, 对数 皮拉尼真空规 1000到1 x 10-4mbar, DN16 ISO-KF法兰;输出0-10V,对数 与上相同,DN16CF法兰 配件
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技术参数
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VSP841/VSP842VSP841和VSP842皮拉尼半桥测量中真空范围下的绝对压力. 该款热传导传感器紧凑,坚固耐用,带预调整和温度补偿。非常适用于控制和被动式桥接电路。 |
被动式真空传感器
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典型应用 |
产品优点
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产品代码皮拉尼半桥,1000…100到1 x 10-3mbar,DN16 ISO-KF法兰 皮拉尼半桥,1000…100到1 x 10-3mbar,1/8”-NPT螺纹 配件
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技术参数
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VD6Thyracont VD6真空计,通用真空显示控制器,专为面板安装设计 与Thyracont真空规VSC43MA4(1400到1mbar)或 VSC63MA4(1000到1x10-4mbar)成套使用. 前面板上的继电器监控可以对两个开关点进行持续运行控制 |
单通道真空计
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典型应用 |
产品优点
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产品代码主电源 115VAC/3.5W, 面板安装96 x 48 mm,USB接口 如上,主电源 230VAC/3.5W 成套仪器
配件
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技术参数
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VD12VD12是被用于仪器和设备制造或特殊设备制造领域的智能控制器 它提供2路继电开关,一个普通的或两个独立的设置点 19吋盒式14HP x 3RU |
双通道真空真空计(显示控制器)
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典型应用 |
产品优点
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产品代码19吋盒子 14HPx3RU, USB, 95-265 VAC 成套仪器
配件
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技术参数
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VCP63VCP63拥有优化的温度补偿,从而实现高精度测量和出色的稳定性。 模拟及对数输出信号 |
真空规
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典型应用 |
产品优点
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产品代码配件
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技术参数
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