Smartline数字规系列


适用于1200到5x 10-10mbar的Smartline真空规

创新所带来的喜悦是我们着力打造最佳真空计量仪器的原动力。最新一代Smartline数字规系列在精度、功能性和可靠性方面都设立了最高的标准。


耐用性方面的回报

有延伸测量范围的Thyracont 皮拉尼产品能够在一个非常低的压力临界值以下触发电离传感器。这一技术保护了传感器,从而大大提高了真空规的使用寿命。

讯号连接

最新的真空规提供一个RS485接口和一个额外的0-10V输出或EtherCAT接口。

时间就是金钱

Smartline数字规系列的智能微控制器可以自动管理传感器的控制,这确保了无需操作人员介入情况下皮拉尼和电离感应器之间的最优配合。

更多Smartline数字规系列产品的优点

  • 有备选的大型LCD显示
  • 紧凑,金属密封的传感器
  • 对真空过程较少的温度和电子干扰
  • 对突然排气不敏感
  • 可更换的传感器
  • 每个传感器有分别的气体修正参数从而保证正确的压力读数







  • VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼

    应用实例

    氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。

    挑战

    在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力,以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体,从而启动镀膜过程。最终处理过的晶片会再次回到Load-Lock,然后放气至大气压力后打开锁门,取出晶片。因为操作的时间窗口很短,所以对压力读数的快速反应尤为重要。

    解决方案

    Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控,它集成了压阻/皮拉尼复合传感器,能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而,打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开,从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。

    应用领域

    • 分析仪器
    • 真空炉
    • 镀膜设备
    • 低真空泵测试


    VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼

    应用实例

    塑料元件经常被加以金属镀膜,这抑或出于美观考虑,抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。

    挑战

    金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行,此时需要连续地监控真空状态,以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵超负荷,例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等,旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被监控。

    解决方案

    用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处监控分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量程真空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做中央控制模块。

    应用领域

    • 分析仪器
    • 真空炉
    • 镀膜设备
    • 前级真空控制
    • 真空系统中的安全开关


    VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极

    应用实例

    在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时,通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。

    挑战

    一个合适的真空规需要满足既能够监控镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的最小压力10-6mbar。
    我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规,冷阴极用来监控最小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。

    解决方案

    在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的监控之下,而冷阴极就可以被节省下来了,因为它只在整个系统压力达到最小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值,还可以用集成了LCD显示屏的VSM。

    应用领域

    • 分析仪器
    • 镀膜设备
    • 工艺工程
    • 高真空到超高真空应用的控制
    • 溅射工艺
    • 真空炉


    VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极

    应用实例

    铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。

    挑战

    工艺过程中需要持续监控真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体入口处的精确压力以及真空口处的精确压力。

    解决方案

    采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体入口处和真空口处的精确压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行监控。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。

    应用领域

    • 分析仪器
    • 镀膜
    • 对高真空和超高真空应用的控制
    • 溅射工艺
    • 工艺工程


    VSR



    在数字VSR 真空规中,压阻和皮拉尼传感器的结合提供了高低真空范围内的高精度和高分辨率测量。

    微控制器可以智能控制两个真空传感器间的交互。

    Smartline数字规系列真空规代表着最前沿的技术,提供了安全、精确、高性价比的工艺流程控制。

    Smartline数字规系列 真空规
    绝对压力 1200到1×10-4mbar

    典型应用

  • Load Lock
  • 分析仪器
  • 镀膜设备
  • 真空炉
  • 检漏
  • 低真空泵的运行控制
  • 工艺工程
  • 质谱仪
  • 真空系统的安全回路
  • 产品优点

    • 宽量程皮拉尼/压阻传感器的结合
    • 全量程范围内的高精度和最佳分辨率
    • 两个独立、无源继电开关点
    • 响应时间短
    • 良好的可重复性和长期稳定性
    • 测量室体积小,例如VSR53D是2cm3
    • 金属密封不锈钢测量室,适合超高真空应用
    • 金属网屏保护灯丝防油、防溶剂蒸汽
    • 优化的温度补偿确保了测量的稳定性
    • 自带存储校准数据的传感器探头可以更换
    • 20mbar以上的测量不受气体类型的影响,可调皮拉尼传感器气体类型修正参数
    • 可显示仪器状态和开关点的LED
    • RS485数字接口和其它模拟输出信号1.5-8.58V或EtherCAT
    • 通过按键或通讯接口调整零点和大气压
    • 大型集成LCD显示,带背景照明(VSR53DL,VSR54DL)
    • 如果出现错误,屏幕闪烁红色,正常工作状态是绿色(VSR53DL,VSR54DL)
    • 和PLC连接方便
    • 数字输出信号可以远程无错传输(最远距离500米)
    • 波特率9.6kBit/s到115kBit/s
    • 金属外壳,抗电磁干扰,结实耐用
    • 防护等级IP54(VSR53E/VSR54E)
    • 可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的真空计VD12/VD10
    • 真空连接:DN16 ISO-KF不锈钢法兰或DN16 CF-F法兰

    产品代码
  • VSR53D
    压阻-皮拉尼复合真空规,1200到1×10-4mbar,DN16 ISO-KF,输出RS485和0-10V

  • VSR53DL
    同VSR53D,带LCD显示

  • VSR53E
    同VSR53D,RS485输出和EtherCAT

  • VSR54D
    压阻-皮拉尼复合真空规,1200到1×10-4mbar,DN16 CF-F,输出RS485和0-10V

  • VSR54DL
    同VSR54D,带LCD显示

  • VSR54E
    同VSR54D,RS485输出和EtherCAT


  • 配件

    • SLN4
      24V,Plug-in电源
    • SLKUSB
      RS485-USB转接头
    • VGR
      VacuGraph™软件,Windows版
    • W1515002
      VD12和VD10连接线,带屏蔽,2米
    • W1515006
      同W1515002,6米
    • W1515020
      同W1515002,20米
    • 可替换传感器探头
      B_VSR53, B_VSR54

    技术参数

    测量原理薄膜压阻/皮拉尼
    真空接触材质不锈钢1.4307、镍、金、氧化硅、钨、玻璃
    测量范围1200到1×10-4mbar(900到1×10-4torr),最大过压4bar,绝对压力
    精度1200到10mbar:±0.3%满刻度10到2×10-3mbar:读数的±10%
    重复性1200到10mbar:±0.1%满刻度10到2×10-3mbar:读数的±2%
    响应时间1200到10mbar:<30ms(压阻)10到2×10-3mbar:<100ms(皮拉尼)
    供电电压20到30VDC
    电气连接VSR53D/DL,VSR54D/DL:SubD,15针,公头,可锁
    VSR53E,VSR54E:M12圆形接头,母头,可锁
    1xA标准,5针,2xD编码,4针
    功耗2.5W,EtherCAT/继电器/LCD另需0.8W
    操作温度+5到+60℃(相对湿度最大80%/30℃,无冷凝)
    存储温度-40到+65℃
    最高烘烤温度法兰处125℃
    输出信号0到10VDC,测量范围1.5-8.58VDC,对数,1V/量级
    负载电阻>10KΩ(VSR53D/DL,VSR54D/DL)
    串行接口RS485:9.6kBit/s到115kBit/s,开关地址1-16
    开关点2个开关继电器,50VAC/2A,30VDC/2A,最大60VA
    真空连接DN16ISO-KF(VSR53),DN16CF-F(VSR54)
    防护等级IP54(VSR53E,VSR54E),IP40(VSR53D/DL,VSR54D/DL)
    重量220克(VSR53D)


    VSP



    配有结实耐用螺旋灯丝并由处理器控制的VSP是高真空范围内进行精确测量的理想选择。

    Smartline数字规系列真空规代表着最前沿的技术,提供安全、精确、高性价比的工艺流程控制。

    Smartline数字规系列 真空规
    绝对压力 1200到1×10-4mbar

    典型应用

  • 分析仪器
  • 低真空泵和真空设备的运行控制
  • 真空系统中的安全回路
  • 真空炉
  • 检漏
  • 冷冻干燥设备
  • 工艺工程
  • 真空离心机
  • 产品优点

    • 耐用的皮拉尼螺旋灯丝
    • 高分辨率
    • 良好的精度和可重复性
    • 两个独立、无源继电开关点
    • 响应时间短
    • 金属网屏保护灯丝防油、防溶剂蒸汽
    • 优化的温度补偿确保了测量的稳定性
    • 测量室体积小,例如VSP63D是1.8cm3
    • 金属密封不锈钢测量室,适合超高真空应用
    • 自带存储校准数据的传感器探头可以更换
    • 可显示仪器状态和开关点的LED
    • 可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的真空计VD12/VD10
    • RS485数字接口和其它模拟输出信号1.5-8.5V或EtherCAT
    • 通过按键或通讯接口数字调整零点和大气压
    • 大型集成LCD显示,带背景照明(VSR63DL,VSR64DL)
    • 如果出现错误,屏幕闪烁红色,正常工作状态是绿色(VSP63DL,VSP79DL)
    • 和PLC连接方便
    • 数字输出信号可以远程无错传输(最远距离500米)
    • 波特率9.6kBit/s到115kBit/s
    • 金属外壳,防电磁干扰,结实耐用
    • 防护等级IP54(VSP63E/VSP64E)
    • 真空连接:DN16 ISO-KF不锈钢法兰或DN 16 CF-F法兰

    产品代码

  • VSP63D
    皮拉尼真空规,1000到1×10-4mabr,DN 16 ISO-KF,输出0-10V 和RS485

  • VSP63DL
    同VSP63D,带LCD显示

  • VSP63E
    同VSP63D,RS485输出和EtherCAT

  • VSP64D
    皮拉尼真空规,1000到1×10-4mabr,DN 16 CF-F,输出0-10V 和RS485

  • VSP64DL
    同VSP64D,带LCD显示

  • VSP64E
    同VSP64D,RS485输出和EtherCAT


  • 配件

    • SLN4
      Plug-in电源24V
    • SLKUSB
      RS485和USB转换头
    • VGR
      VacuGraph™软件 Windows版
    • W1515002
      VD12和VD10的连接线,带屏蔽, 2米
    • W1515006
      同W1515002, 6米
    • W1515020
      同W1515002, 20米
    • 可替换的传感器探头
      B_VSP63,B_VSP64

    技术参数

    测量原理皮拉尼
    真空接触材质不锈钢1.4307、镍,钨,玻璃
    测量范围1000到1×10-4mbar(750到1×10-4torr),最大过压4bar绝对压力
    精度1000到20mbar:读数的±30%
    20到2×10-3mbar:<读数的±10%
    <2×10-3mbar:<上述第二指标
    重复性读数的±2%
    响应时间<100ms
    供电电压20到30VDC
    电气连接VSP63D/DL,VSP64D/DL:SubD,15针,公头,可锁
    VSP63E,VSP64E:M12圆形接头,母头,可锁
    1xA标准,5针,2xD编码,4针
    功耗2.5W,EtherCAT/继电器/LCD另需0.8W
    操作温度+5到+60℃(相对湿度最大80%/30℃,无冷凝)
    存储温度-40到65℃
    最高烘烤温度法兰处125℃
    输出信号0到10VDC,测量范围1.5-8.5VDC,对数,1V/量级
    负载电阻>10KΩ(VSP63D/DL,VSP64D/DL)
    串行接口RS485:9.6kBit/s到115kBit/s,开关地址1-16
    开关点2个开关继电器,50VAC/2A,30VDC/2A,最大60VA
    真空连接DN16ISO-KF(VSP63),DN16CF-F(VSP64)
    防护等级IP54(VSP63E,VSP64E),IP40(VSP63D/DL,VSP64D/DL)
    重量190克


    VSM



    数字复合规VSH(皮拉尼/冷阴极)可以测量从大气压到超高真空的绝对压力。

    微控制器可以智能控制两个真空传感器间的交互。

    Smartline数字规系列真空规代表着最前沿的技术,提供安全、精确、高性价比的工艺流程控制。

    Smartline数字规系列 真空规
    绝对压力 1000到5×10-9mbar

    典型应用

  • 分析技术
  • 镀膜设备和气相沉积
  • 真空炉
  • 工艺工程
  • 高真空和超高真空的测量和控制
  • 溅射工艺
  • 产品优点

    • 宽量程皮拉尼传感器/冷阴极
    • 皮拉尼自动控制冷阴极传感器
    • 带延展范围的皮拉尼传感器可以保证冷阴极在低压范围内运行,延长使用寿命
    • 结实耐用的传感器设计方案
    • 测量室体积小,例如VSM77D是9cm3
    • 出色的点火动作
    • 对空气突入不敏感
    • 两个独立、无源继电开关点
    • 可显示仪器状态和开关点的LED
    • 自带存储校准数据的传感器探头可以更换
    • 通过分别的皮拉尼和冷阴极传感器的不同气体校正参数可以确保正确的压力读数
    • 可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道真空计VD12/VD10
    • RS485接口和其它模拟输出信号1.819-8.6V或EtherCAT
    • 通过按键或通讯接口数字调整零点和大气压
    • 大型集成LCD显示,带背景照明(VSM77DL,VSM79DL)
    • 如果出现错误,屏幕闪烁红色,正常工作状态是绿色(VSM77DL,VSM79DL)
    • 和PLC连接方便
    • 数字输出信号可以远程无错传输(最远距离500米)
    • 波特率9.6kbit/s到115kbit/s
    • 金属外壳,防电磁干扰,结实耐用
    • 真空连接:DN25 ISO-KF不锈钢法兰或DN40 CF-F法兰

    产品代码
  • VSM77D
    皮拉尼/倒置磁控复合规,1000到5×10-9mbar,DN 25 ISO-KF,输出0-10V 和RS485

  • VSM77DL
    同VSM77D,带LCD显示

  • VSM77E
    同VSM77D,RS485输出和EtherCAT

  • VSM79D
    皮拉尼/倒置磁控复合规,1000到5×10-9mabr,DN 40 CF-F,输出0-10V 和RS485

  • VSM79DL
    同VSM79D,带LCD显示

  • VSM79E
    同VSM79D,RS485输出和EtherCAT


  • 配件

    • SLN4
      Plug-in电源24V
    • SLKUSB
      RS485和USB转换头
    • VGR
      VacuGraph™软件 Windows版
    • W1515002
      VD12和VD10连接线,带屏蔽,2米
    • W1515006
      同W1515002,6米
    • W1515020
      同W1515002,20米
    • 可替换的传感器探头
      B_VSM77,B_VSM79

    技术参数

    测量原理皮拉尼/倒置磁控(两者皆与气体类型相关)
    真空接触材质不锈钢1.4307、镍,钨,钼,玻璃,陶瓷
    测量范围1000到5×10-9mbar(750到5×10-9torr),
    最大过压4bar绝对压力
    精度1000到10mbar:<读数的30%
    10到2×10-3mbar:<读数的10%
    2×10-3mbar到1×10-8mbar:<读数的25%
    重复性10到1×10-2mbar,约读数的±2%
    1×10-2mbar到1×10-8mbar:约读数的±7%
    响应时间200ms(1s激活冷阴极)
    阴极电压最大2.5kV
    供电电压20到30VDC
    电气连接VSM77D/DL,VSM79D/DL:SubD,15针,公头,可锁
    VSM77E,VSM79E:M12圆形接头,母头,可锁
    1xA标准,5针,2xD编码,4针
    功耗最大3W,EtherCAT/继电器/LCD另需0.8w
    操作温度+5到+60℃
    存储温度-40到+65℃
    最高烘烤温度法兰处160℃(电气分离)
    输出信号0到10VDC,测量范围1.819-8.6VDC,对数,0.6V/量级
    负载电阻>10KΩ(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
    串行接口RS485:9.6kbit/s到115kbit/s,开关地址1-16
    开关点2个开关继电器,50VAC/2A,30VDC/2A,最大60VA
    真空连接DN25ISO-KF(VSM77),DN40CF-F(VSM79)
    防护等级IP54(VSM77E,VSM79E),IP40(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
    重量约555克


    VSH



    数字复合规VSH(皮拉尼/冷阴极)可以测量从大气压到超高真空的绝对压力。

    微控制器可以智能控制两个真空传感器间的交互。

    Smartline数字规系列真空规代表着最前沿的技术,提供安全、精确、高性价比的工艺流程控制。

    Smartline数字规系列 真空规
    绝对压力 1000到5×10-10mbar

    典型应用

  • 分析技术
  • 镀膜设备和气相沉积
  • 溅射工艺
  • 从高真空到超高真空的测量和控制
  • 真空炉
  • 工艺工程
  • 空间模拟腔
  • 产品优点

    • 宽量程皮拉尼传感器/Bayard Alpert
    • 皮拉尼自动控制热阴极传感器
    • 带延展范围的皮拉尼传感器可以保证热阴极在低压范围内运行,延长使用寿命
    • 高精度和良好的可重复性
    • 对真空过程中较少的温度和电子干扰
    • 测量室体积小,例如VSH88D是20cm3
    • Bayard-Alpert防气流、镀钇双灯丝
    • 对空气突入不敏感
    • 两个独立无源继电开关点
    • 可显示仪器状态和开关点的LED
    • 自带存储校准数据的传感器探头可以更换
    • 通过分别的皮拉尼和热阴极传感器的不同气体的校正参数可以确保正确的压力读数
    • 可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的真空计VD12/VD10
    • RS485数字接口和其它模拟输出信号1.219-8.6V或EtherCAT
    • 通过按键或通讯接口数字调整零点和大气压
    • 大型集成LCD显示,带背景照明(VSH88DL、VSH89DL)
    • 如果出现错误,屏幕闪烁红色,正常工作状态是绿色(VSH88DL,VSH89DL)
    • 和PLC连接方便
    • 数字输出信号可以远程无错传输(最远距离500米)
    • 波特率9.6kbit/s到115kbit/s
    • 金属外壳,防电磁干扰,结实耐用
    • 真空连接:DN 40 ISO-KF不锈钢法兰或DN 40 CF-F法兰

    产品代码
  • VSH88D
    皮拉尼/Bayert Alpert 复合规,1000到5×10-10mbar,DN 40 ISO-KF,输出0-10V对数和RS485

  • VSH88DL
    同VSH88D,带LCD显示

  • VSH88E
    同VSH88D,输出RS485和EtherCAT

  • VSH89D
    皮拉尼/Bayert Alpert复合规,1000到5×10-10mbar,DN 40 CF-F,输出0-10V 对数和RS485

  • VSH89DL
    同VSH89D,带LCD显示

  • VSH89E
    同VSH89D,输出RS485和EtherCAT


  • 配件

    • SLN4
      Plug-in电源24V
    • SLKUSB
      RS485和USB转换头
    • VGR
      VacuGraph™软件 Windows版
    • W1515002
      VD12和VD10连接线,带屏蔽, 2米
    • W1515006
      同W1515002, 6米
    • W1515020
      同W1515002, 20米
    • 可替换的传感器探头
      B_VSH88,B_VSH89

    技术参数

    测量原理皮拉尼/BayardAlpert(和气体类型相关)
    真空接触材质不锈钢1.4307、Ni、W、PL、钇涂铱、玻璃
    测量范围1000到5×10-10mbar(750到5×10-10torr),最大过压4bar绝对压力
    精度1000到10mbar:<读数的30%
    10到1×10-8mbar:<读数的10%
    重复性±2%(10到1×10-2mbar),5%(1×10-2到1×10-8mbar)
    响应时间<200ms(2秒当打开BA发射电流)
    放射电流自动开关10μA,100μA,1mA,2mA
    脱气阳极电阻加热
    供电电压20到30VDC
    电气连接VSH88D/DL,VSH89D/DL:SubD,15针,公头,可锁
    VSH88E,VSH89E:M12圆形接头,母头,可锁
    1xA标准,5针,2xD编码,4针
    功耗最大8W,另外脱气1w,EtherCAT/继电器/LCD另需0.8w
    操作温度+5到+60℃
    存储温度-40到+65℃
    最高烘烤温度法兰处180℃(电气分离)
    输出信号0到10VDC,测量范围1.219-8.6VDC,对数,0.6V/量级
    负载电阻>10KΩ(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
    串行接口RS485:9.6kBit/s到115kBit/s,开关地址1-16
    开关点2个开关继电器,50VAC/2A,30VDC/2A,最大60VA
    真空连接DN40ISO-KF(VSH88),DN40CF-F(VSH89)
    防护等级IP54(VSH88E,VSH89E),IP40(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
    重量约555克


    VD10



    VD10是被用于仪器和设备制造或专用设备制造领域的智能控制器

    它提供8路无源继电开关给不同的测量通道。

    紧凑的19吋金属盒式结构 21HP x 3RU

    四通道真空计(显示和控制器)
    绝对压力 1000到5×10-10mbar

    典型应用

  • 工业设备工程
  • 工艺自动化
  • 镀膜设备
  • 真空炉
  • 设备工程,例如为质量保障而进行的流程控制和归档
  • 专用设备制造
  • 产品优点

    • 最多4路测量通道同时控制
    • 能与所有Smartline数字规系列真空规配套使用
    • 8路无源继电开关
    • 2个可编程功能键
    • 通用开关模式,电源95-265VAC
    • 压力显示单位可以是mbar,Torr,hPa
    • 抗电磁干扰的金属外壳保障运行安全
    • 防溅水的前面板
    • 带背景照明的大图形化LCD显示
    • 菜单化的操作指南,操作舒适
    • USB接口方便流程归档
    • VacuGragh软件:用以对真空过程进行归档和评估,远程控制
    • 应客户的要求控制器可以作出厂配置

    产品代码
  • VD10S8
    4通道真空计
    19吋盒式 21HPx3RU, 95-265 VAC


  • 配件

    • W1515002
      用于Smartline数字规系列真空规的RS485连接线,带屏蔽,2米
    • W1515006
      同W1515002,6米
    • VGR
      VacuGraph™软件Windows版本
    • WUSB0002
      USB接口线,带屏蔽,2米

    技术参数

    适配的真空规所有Smartline数字规系列真空规
    VSP63MV,VSP64MV
    显示LCD图形显示,背景照明,57x35mm,
    浮点:2-4位,指数关系,2位尾数,1位指数
    显示更新频率2Hz (0.5s)
    采样频率5Hz (200ms)/通道 (RS485数字串行接口)
    30Hz(33ms)/通道 (0-10V模拟输入)
    电源95-265VAC, 50/60 Hz
    功耗最大45W,包含真空规
    保险丝2.0 A/T
    操作温度+5到+40°C
    储藏温度-20到+60°C
    测量输入1 x RS485,SubD 15针,公头,用于Smartline数字规系列
    2 x 0-10V Amphenol C91E, 6针,母头, 用于VSP63MV,VSP64MV
    控制输出8路继电器,常开触点,SP分配指定
    Pheonix带状终端 16 针
    寿命>1,000,000次
    3A,250VAC, 2A,40VDC
    信号接口迷你USB,B类,5针, 母头, 虚拟串行通讯接口协议
    防护等级IP20
    重量约1100克




    VD12



    VD12是被用于仪器和设备制造或专用设备制造领域的智能控制器

    它提供2路继电开关,一个普通的或两个独立的设置点

    19吋盒式14HP x 3RU

    双通道真空真空计(显示控制器)
    绝对压力 1400到5 x 10-10mbar

    典型应用

  • 工业设备工程
  • 流程自动化
  • 设备工程,例如为质量控制而进行的流程控制和归档
  • 机械工程
  • 包装技术
  • 化工工程(真空搅拌机)
  • 产品优点

    • 双测量通道同时控制
    • 能与所有Smartline数字规系列以及0-10V模拟系列真空规配套使用
    • 压力显示单位可以是mbar,Torr,hPa
    • 通用开关模式,电源95-265VAC
    • 2个无源继电开关点
    • 2阶到3阶控制
    • 坚固的19吋金属盒式结构,防溅水的前面板
    • 抗电磁干扰
    • 可调节气体类型校正参数
    • 带背景照明的大图形化LCD显示
    • 菜单化的操作指南,操作舒适
    • 方便流程归档和设置点编程的USB接口
    • VacuGragh软件:用以对真空过程进行归档和评估,设置点编程和远程控制。
    • 应客户的要求控制器可以作出厂配置

    产品代码

  • VD12S2
    19吋盒式 14HPx3RU, USB, 95-265 VAC




  • 成套仪器

    • VD1253P(1200到1X10-4mbar)
      VD12+VSR53D+2米连接线
    • VD1263P(1000到1X10-4mbar)
      VD12+VSP63D+2米连接线
    • VD1277P(1000到5X10-9mbar)
      VD12+VSM77D+2米连接线
    • VD1288P(1000到5X10-10mbar)
      VD12+VSH88D+2米连接线


    配件

    • W1515002
      用于Smartline数字规系列真空规的RS485连接线,带屏蔽,2米
    • W1515006
      同W1515002,6米
    • VGR
      VacuGraph™软件,Windows版
    • WUSB0002
      USB接口线,带屏蔽,2米

    技术参数

    适配的真空规 所有Smartline数字规系列真空规
    VSC43MV, VSP63MV,VSP64MV
    显示LCD图形显示,背景照明,分辨率128x64
    显示更新频率2Hz (0.5s)
    采样频率 RS485:12.5Hz(80ms)/通道
    0-10V:50Hz(20ms)/通道
    电源95-265VAC, 50/60 Hz
    功耗最大25W,包含真空规
    保险丝0.8A/T
    操作温度+5到+50°C
    储藏温度-20到+60°C
    测量输入 1 x RS485,SubD 公头, 15针, 用于Smartline数字规系列
    2 x Amphenol C91E, 6针,0-10V,母头, 用于模拟系列
    控制输出 双继电器触点,无源转换开关,Pheonix带状终端 6 针
    寿命>300,000次
    4A/250VAC, 2A/45VDC
    信号接口迷你USB,B类,5针, 母头, 虚拟串行通讯接口协议
    防护等级IP20
    重量约750克