全量程真空规(皮拉尼/离子规)的选择
全量程真空规一般是皮拉尼结合离子规。根据离子规的不同分为全量程皮拉尼冷阴极真空规和全量程皮拉尼热阴极(BA规 Bayard Alpert)真空规
VSM全量程冷规的量程范围为1000mbar-5x10-9mbar
VSH全量程热规的量程范围为1000mbar-5x10-10mbar
VSM全量程冷规的精度稍差 10-2x10-3mbar <读数的10%,后段<读数的25%
VSH全量程热规的精度较高10mbar-1x10-8mbar <读数的10%,
VSM全量程冷规比较耐用,但是阴极棒比较容易受到客户工作介质影响被覆上碳等,影响精度
VSH全量程热规灯丝相对比较容易坏。但是根据我们的实验,VSH在离子规工作情况下经过数万次破大气实验依然能正常工作
但是最关键最关键的是什么呢?是根据他们的工作原理适用的用途!!
Vacuum Furnaces |
Sputtering |
Evaporation Chambers |
Reactive Processes |
Loadlock |
Mass Spectrometry |
Accelerator |
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VSM77D |
推荐 |
可用 |
推荐 |
推荐 |
可用 |
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可用 |
VSH88D |
推荐 |
推荐 |
推荐 |
可用 |
可用 |
推荐 |
推荐 |