在真空腔体未抽过高真空之前,尤其是腔体如果还需要烘烤,那么在烘烤未结束之前,请不要开启复合规。新真空腔体非常容易污染冷规热规的阴极棒。一些有机溶剂在真空尤其是加热情况下会挥发并很快和阴极棒电离发生反应镀在阴极棒上,从而使真空规失去效用。这是大多数电离规失效的主要原因。而且不受任何质保保护。请一定注意。谢谢!
下面图1是阴极棒受污染图,图2~图5是冷规内部受污染图: