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   真空规的污染

发布日期：2016-06-08     发布人：shirley.xie

真空规的工作环境是真空，一般来说是比较干净的。但是干净的概念却不是我们平常肉眼所见的干净。
由于皮拉尼，冷规热规等真空规的工作原理离不开灯丝等部件，例如工作在Loadlock腔体的真空规，其实真空规经受着非常大的考验。由于空气中存在着大量的颗粒物和絮状物，我们在阳光下比较容易看见。如果周围环境不够干净，这些东西很容易污染真空规灯丝，造成测量不准确，甚至真空规失效。下图是环境中的污染物造成的真空规测量不准的图片。