行业知识
真空规的污染
发布日期:2016-06-08 发布人:shirley.xie
真空规的工作环境是真空,一般来说是比较干净的。但是干净的概念却不是我们平常肉眼所见的干净。
由于皮拉尼,冷规热规等真空规的工作原理离不开灯丝等部件,例如工作在Loadlock腔体的真空规,其实真空规经受着非常大的考验。由于空气中存在着大量的颗粒物和絮状物,我们在阳光下比较容易看见。如果周围环境不够干净,这些东西很容易污染真空规灯丝,造成测量不准确,甚至真空规失效。下图是环境中的污染物造成的真空规测量不准的图片。
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